Что такое очистка пластин? Тел.:+086-592-5803997
Очистка пластин — это важнейший процесс полупроводникового производства, удаляющий частицы, органические вещества и металлические загрязнения с кремниевых пластин с использованием влажных химических ванн (например, RCA Clean).,Травление Пираньи с помощью H₂SO₄/H₂O₂), растворителей (ацетон, метанол), плавиковой кислоты (HF), а также механической очистки или мегазвуковых методов с последующей промывкой сверх-чистой водой и сушкой азотом, чтобы гарантировать отсутствие дефектов-поверхностей при изготовлении микрочипов, при этом процессы варьируются от периодического погружения до однократного-напыления пластин для обеспечения точности.
Гидрофторэфир HFE347, сочетающий в себе нулевой ОРП, низкий ПГП, негорючесть-и нулевой остаток, быстро стал новым фаворитом инженеров-технологов и теперь рассматривается как мощное дополнение и модернизация традиционных методов.
процесс очистки пластины Тел.:+086-592-5803997
| Этап очистки пластины | Цель |
|---|---|
| Предварительная-диффузионная очистка | Создает поверхность, свободную от металлических, твердых частиц и органических загрязнений. В некоторых случаях необходимо удалить природный оксид или химические оксиды. |
| Удаление металлических ионов Чистота | Устраните ионы металлов, которые могут оказать вредное воздействие на работу устройства. |
| Удаление частиц Очистка | Удалите частицы с поверхности, используя химическую или механическую очистку Megasonic. |
| Очистка после травления | Удалите фоторезист и полимеры, оставшиеся после процесса травления. Удалите фоторезист и твердые остатки, включая «травильный полимер». |
| Удаление пленки Чистота | Травление/полоса нитрида кремния, травление/полоса оксида, травление кремния и травление/полоса металла |
Пределы традиционной уборки и стратегическая роль HFE Тел.:+086-592-5803997
Классический процесс очистки пластин RCA основан на использовании высоко-температурных и-водных химических растворов высокой чистоты (например, SC-1, SC-2). Хотя этот процесс превосходно удаляет ионы, металлические загрязнения и частицы, он имеет два существенных ограничения:
Ограниченная эффективность против определенных органических загрязнений, таких как остатки фоторезиста, масла для вакуумных насосов, силиконовые смазки и современные смазочные материалы из прецизионных компонентов.
Проблема сушки «водой». Высокое поверхностное натяжение воды представляет собой критический риск на заключительном этапе сушки, часто приводя к разрушению рисунка и остаткам водяных знаков, особенно на конструкциях с высоким-аспектом-соотношений.
HFE 347, современный растворитель на основе гидрофторэфиров, напрямую устраняет эти болевые точки благодаря своим уникальным физико-химическим свойствам, позиционируя себя как идеальное средство для «точной сухой-в-влажной уборки».
Основная информация по очистке пластин Гидрофторэфир HFE347
Тел.:+086-592-5803997
HFE (гидрофторэфир) представляет собой класс органических соединений, состоящих из водорода, фтора, углерода и кислорода, сочетающих эфирные связи (R-O-R') и фторалкильные структуры. Он разработан для сохранения превосходных характеристик фторированных растворителей при одновременном снижении воздействия на окружающую среду (например, разрушение озонового слоя и потенциальное глобальное потепление). HFE широко используется в качестве прецизионного чистящего средства, охлаждающей жидкости, носителя растворителя и т. д., особенно в электронике, полупроводниковой и аэрокосмической областях.
|
Химическое название: |
1,1,2,2-Тетрафторэтиловый эфир 2,2,2-трифторэтиловый |
|
КАС: |
406-78-0 |
|
МФ: |
C4H3F7O |
|
МВ: |
200.05 |
|
ЭИНЭКС: |
609-858-6 |
|
Химические свойства |
|
|
Точка кипения |
56,2 градуса |
|
плотность |
1.487 |
|
показатель преломления |
1.276 |
|
Удельный вес |
1.487 |
|
Справочник по базе данных CAS |
406-78-0 (ссылка на базу данных CAS) |
|
Система регистрации веществ EPA |
ХФЭ-347пкф2 (406-78-0) |
|
Тестовые задания |
Технические характеристики |
|
Появление |
Прозрачная бесцветная жидкость |
|
Чистота |
Больше или равно 99,5% |
|
Вода |
Меньше или равно 100 ppm |
Очистка полупроводниковых пластин HFE 347 Экскурсия по фабрике Тел.:+086-592-5803997
Поставщик чистящих средств для полупроводников - Профиль компании Тел.:+086-592-5803997
Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. — стратегическое предприятие, в которое Juhua Group -, лидер китайской фторхимической промышленности -, инвестировала средства для продвижения в сектор высококачественных-электронных материалов.
Опираясь на преимущества всей производственной цепочки Группы, от основного фторсодержащего сырья до современных фторполимеров, а также опираясь на свой многолетний-технический опыт, Juda стремится преодолеть международные барьеры поставок и достичь-самообеспеченности основными электронными материалами. Компания специализируется на поставке необходимых высокоэффективных-решений на основе фтора-для производства полупроводников, интегральных схем и других сложных электронных устройств.
горячая этикетка : гидрофторэфирный растворитель для очистки пластин hfe347, поставщики, производители, завод, котировка, цена, купить
