Дифторметан R32 в качестве сухого травильного газа для Si3N4

Дифторметан R32, также известный как HFC-32, молекулярная формула: CH2F2, является анизотропным травильным газом для Si3N4 и имеет относительно низкую селективность в отношении SiO2 и Si. Помимо того, что он является основным травителем, его также можно использовать в качестве вспомогательного газа для других основных травителей для регулирования соотношения фтор/углерод.

 

R32 – Ключевые характеристики:

1. Не разрушает озоновый слой

2. Нетоксичный

3.Гидрофторуглерод (ГФУ) газ.

4. Масло: POE (полиолестеровое масло)

В современную эпоху производства полупроводников, где точность и миниатюризация являются ключевыми факторами, процесс травления играет жизненно важную роль. Травление — это сложная техника, используемая для выборочного удаления слоев материала с полупроводниковых пластин, позволяющая создавать сложные схемы схем.

Сухое травление — это использование газа для травления среды. Обычные методы сухого травления включают физическое травление (например, ионно-лучевое травление) и химическое травление из паровой фазы (например, плазменное травление). Газ используется для воздействия на поверхность подложки для нанесения царапин, его характеристикой является высокая точность обработки.

Дифторметан R32 — широко используемый сухой травильный газ, широко используемый в процессах плазменного травления в электронной промышленности. Кроме того, это также хладагент с нулевым потенциалом разрушения озона и широко используется в холодильном оборудовании, таком как кондиционеры, холодильники и автомобильные кондиционеры. По сравнению с традиционными хладагентами газ R32 имеет более высокую эффективность охлаждения и меньшее воздействие на окружающую среду.

Xiamen Juda — ведущий поставщик травильного газа и холодильных решений в Китае, предлагающий широкий ассортимент продукции, такой как R32, C4F8, SF6, CF4 и холодильный газ. Компания Xiamen Juda, основанная в 1988 году одним из пионеров китайского химического производства, корпорацией Juhua Group Corporation, занимается экспортом фторированных химикатов с 2004 года. Наша команда стремится к совершенству и предоставляет первоклассные газовые решения для удовлетворения потребностей наших клиентов. Мы гордимся своей многолетней репутацией в области качества и надежности. С Xiamen Juda вы можете быть уверены, что получаете лучшее в отрасли.