Компания Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. является одним из ведущих производителей и поставщиков жидкостей для вакуумных насосов pfpe jhlo 06/6 в Китае. Если вы ищете жидкости для вакуумных насосов pfpe jhlo 06/6, пожалуйста, не стесняйтесь покупать нашу качественную продукцию по конкурентоспособной цене на нашем заводе. Свяжитесь с нами для получения предложения.
Что такое перфторполиэфирная жидкость для вакуумных насосов PFPE JHLO 06/6? Тел.:+86-592-5803997
ПФПЭ JHLO 06/6 — это инертная жидкость для вакуумных насосов на основе перфторполиэфира (PFPE) высокой-вязки-класса, специально разработанная для замены Solvay Fomblin YL VAC 06/6 для прецизионного полупроводникового вакуумного оборудования. Являясь полностью фторированной синтетической смазкой из ПФПЭ, состоящей исключительно из молекулярных цепей углерода, фтора и кислорода, она обеспечивает непревзойденную чистоту, термическую стабильность и нулевую химическую реактивность - — три непреложных показателя для контроля производительности при производстве полупроводниковых пластин.
В отличие от вакуумных масел на основе углеводородов или сложных эфиров-, которые образуют летучие остатки и твердые частицы, наше масло JHLO 06/6 PFPE подвергается строгому синтезу в чистых помещениях класса 1 по стандарту ISO и многоцикловым испытаниям на дегазацию. Эта жидкость на основе перфторполиэфира ограничивает TML и CVCM до сверх-низких пороговых значений, предотвращая обратное загрязнение в вакуумных насосах для травления, LPCVD, PVD и ионной имплантации -, непосредственно снижая количество дефектов пластин и стабилизируя производительность на заводах диаметром 200/300 мм.
Спецификация перфторполиэфирного масла серии JHL PFPE Тел.:+86-592-5803997
Получите бесплатный технический паспорт
Core Semiconductor-Преимущества перфторполиэфира PFPE JHLO 06/6 Тел.:+86-592-5803997
1. Сверх-низкое выделение газов и нулевое загрязнение частицами (защита выхода пластин)
Основной проблемой полупроводниковых вакуумных систем является обратный поток летучих смазочных материалов, загрязняющий кремниевые пластины. Наш перфторполиэфир PFPE JHLO 06/6 отличается чрезвычайно низким давлением насыщенных паров в условиях высокого вакуума:
Минимальные потери на испарение при непрерывном работе в условиях высокого-вакуума.
Не-разлагается в циклах плазменного, высоко-температурного обжига и криогенного охлаждения.
Отсутствие осыпания микро-частиц; позволяет избежать выхода из строя фоторезиста, короткого замыкания и возникновения дефектов поверхности. Клиенты Fab сообщают о снижении процента брака пластин на 15–22 % после перехода на жидкости для вакуумных насосов из ПФПЭ JHLO 06/6 благодаря стабильным характеристикам сверх-чистого перфторполиэфира, соответствующим импортным ПФПЭ ведущих-уровней брендов.
2. Полная химическая инертность по отношению к химикатам полупроводникового производства.
Уникальная фторуглеродная основа перфторполиэфира (PFPE) обеспечивает полную устойчивость JHLO 06/6 ко всем агрессивным технологическим средам: фторированному травильному газу, галогенам, сильным окислителям, озону и парам кислот.
Никаких химических реакций, карбонизации или накопления осадка внутри камер насоса.
Не-негорючий, с нулевой температурой вспышки; безопасен для процессов вакуумной откачки с-богатым кислородом
Полностью совместим с FFKM, PTFE, нержавеющей сталью и всеми полупроводниковыми материалами уплотнений насосов. Отсутствие накопления шлама продлевает циклы капитального ремонта вакуумного насоса в 2–3 раза по сравнению с обычными маслами, сокращая время простоя производственного оборудования и затраты на запасные части.
3. Чрезвычайно широкая температурная стабильность работы.
Полупроводниковое вакуумное оборудование чередует криогенное охлаждение (-60 градусов) и высокотемпературный обжиг (260 градусов). Перфторполиэфир PFPE JHLO 06/6 обеспечивает стабильную смазывающую способность во всем диапазоне:
Температура застывания ниже -58 градусов: плавный запуск насоса в условиях сверхнизкой температуры в условиях вакуума.
Температура термического разложения выше 300 градусов: отсутствие потери вязкости или выбросов пара во время высоко-теплового процесса.
Стабильная кривая вязкости-температуры, постоянная эффективность вакуумной откачки-круглый год
4.Идентичные характеристики Solvay PFPE Fomblin YL VAC 06/6, экономичная-эффективная поставка.
Жидкость для вакуумных насосов JHLO 06/6 PFPE полностью отражает физические и химические параметры перфторполиэфира Solvay Fomblin YL VAC 06/6: соответствующие показатели молекулярной массы, давления пара, смазывающей способности и газовыделения.
Прямая замена-всех пластинчато-роторных, сухих и турбомолекулярных вакуумных насосов, используемых на заводах по производству полупроводников.
Внутреннее массовое производство в чистых помещениях исключает длительные сроки импорта и нестабильные затраты на сырье за рубежом.
Доступны в упаковках IBC по 5, 20 л и навалом для крупных-линий по производству полупроводников.
Ключевые области применения перфторполиэфира PFPE JHLO 06/6 в производстве полупроводников Тел.:+86-592-5803997
Эта жидкость для вакуумных насосов премиум-класса из ПФПЭ является стандартной смазкой для рабочих процессов с высоким-высоким уровнем чистоты в вакуумных рабочих процессах при-производстве пластин:
1. Вакуумные насосы для плазменного травления и реактивного ионного травления (RIE).
2.LPCVD, PVD, ALD вакуумные системы для нанесения тонких пленок-
3.Ионная имплантация, диффузионные печи, высоковакуумные насосные агрегаты.
4. Дегазация пластин, вакуумное оборудование для криогенных испытательных камер.
5. Вакуумные циркуляционные насосы для транспортировки агрессивных химических паров.
6. Аэрокосмические прецизионные вакуумные испытания и фармацевтическая инертная вакуумная обработка.
Все сценарии, в которых низкий уровень загрязнения, длительный срок службы и инертный химический состав на основе перфторполиэфира PFPE являются обязательными для обеспечения выхода готовой продукции.
Почему Global Semiconductor Fabs выбирает наш перфторполиэфир PFPE серии JHLO Тел.:+86-592-5803997
Благодаря 10-летнему опыту работы независимой станции фторхимической обработки, обслуживающей OEM-производителей полупроводников и производителей пластин, производство PFPE на нашем заводе строго соответствует стандартам REACH, RoHS и стандартам чистоты полупроводниковых чистых помещений:
1
Полный собственный-синтез базового компонента перфторполиэфира без добавления сторонних-сторонних производителей.
2
3-ступенчатая фильтрация частиц перед наполнением для устранения посторонних примесей.
3
Полные паспорта безопасности материалов, сертификаты подлинности и отчеты об испытаниях в чистых помещениях предоставляются для каждой партии.
4
Вакуумные жидкости из ПФПЭ с индивидуальной вязкостью (JHLO-04, 14/6, 25/6, 45) доступны для различных моделей насосов.
Отправить запрос на оптовое предложение
Часто задаваемые вопросы — PFPE JHLO 06/6 Перфторполиэфирная жидкость для вакуумных насосов
01.Может ли PFPE JHLO 06/6 полностью заменить Solvay Fomblin YL VAC 06/6?
02.Какие риски загрязнения устраняет перфторполиэфир PFPE по сравнению с минеральным вакуумным маслом?
03.Какие размеры упаковки доступны для PFPE JHLO 06/6?
горячая этикетка : pfpe jhlo 06/6 жидкости для вакуумных насосов, поставщики, производители, завод, котировка, цена, купить, Фторкаучук, Покрытия из ПТФЭ, Порошковое покрытие из ПТФЭ, Напыляемые покрытия из ПТФЭ, ПВХ-покрытие, Тефлон ПТФЭ
