Каковы области применения FFKM в полупроводниках?

FFKM — это высокопроизводительный уплотнительный материал. Его превосходные эксплуатационные характеристики позволили его применению проникнуть во всю систему производства полупроводниковых изделий. Среди них уплотнительные кольца FFKM являются одним из основных расходных материалов, необходимых для производства интегральных схем.

FFKM сополимеризуется тетрафторэтиленом (TFE), перфторалкилвиниловым эфиром (PAVE) в качестве основных мономеров и небольшим количеством мономера точки отверждения (CSM). Как показано на рисунке ниже, все атомы углерода в полимере Атомы водорода в каучуке заменены атомами фтора, что делает его каучуком, который вообще не содержит связей CH.

Основные эксплуатационные характеристики FFKM:

1) Физические свойства

Плотность FFKM составляет 1.9-2.0г/см³. Его механические свойства при нормальной температуре близки к свойствам фторкаучука на основе винилиденфторида (VDF) (FKM), но его механические свойства при высокой температуре лучше, чем у фторкаучука.

2) Химическая стойкость

В молекулярной цепи FFKM отсутствуют атомы водорода, а связи CC в основном окружены оболочкой, состоящей из атомов F, что демонстрирует сильную химическую инертность и делает полимер значительно устойчивым к химическим веществам.

3) Устойчивость к высоким и низким температурам

Рабочая температура FFKM обычно составляет 260~290 градусов, и может использоваться периодически при высоких температурах 316 градусов. Поскольку большое количество групп -OCF3 вводится в разветвленные цепи молекул, гибкость молекул улучшается, а также улучшается низкотемпературная стойкость резины.

4) Сопротивление плазмы

В плазменной среде он демонстрирует такие характеристики продукта, как высокая чистота и низкое образование осадков, а также может выдерживать плазменную бомбардировку в течение длительного времени.

В производстве полупроводников надежность эластомерных уплотнений имеет решающее значение, поскольку остановки производства для замены уплотнений обходятся чрезвычайно дорого. Чтобы избежать потенциальных рисков, требования к чистоте и чистоте уплотнений очень строгие. В то же время уплотнения должны быть способны работать в течение длительного времени в условиях давления высокой температуры, высокого вакуума и едких химических газов.

Что касается применения полупроводников, FFKM в основном фокусируется на:

1) Газовое уплотнение: в процессе производства полупроводников обработка и транспортировка различных газов имеют важное значение. Уплотнительные кольца FFKM используются для герметизации газопроводов, клапанов и соединений, чтобы гарантировать отсутствие утечки газа и поддерживать стабильность процесса.

2) Травление и очистка: Этапы травления и очистки в полупроводниковых процессах часто включают использование едких сред, таких как сильные кислоты или щелочи. Уплотнительные кольца FFKM широко используются в деталях оборудования, контактирующих с этими средами, такими как травильные камеры, очистные ванны и т. д., благодаря своей превосходной коррозионной стойкости.

3) Транспортировка жидкостей и химикатов: в производстве полупроводников необходимо транспортировать различные жидкости и химикаты, такие как растворы, растворители, чистящие жидкости и т. д. Уплотнительное кольцо FFKM можно использовать для герметизации компонентов оборудования, таких как трубы, клапаны и насосы, чтобы обеспечить безопасную доставку сред.

4) Высокотемпературная среда: некоторые этапы полупроводникового процесса, такие как термообработка, отжиг и т. д., необходимо выполнять в высокотемпературной среде. Уплотнительные кольца FFKM обладают превосходной устойчивостью к высоким температурам и способны сохранять свою эластичность и уплотнительные свойства при высоких температурах.

5) Очистка сверхчистой воды: в производстве полупроводников сверхчистая вода используется для очистки и очистки оборудования и материалов. Уплотнительные кольца FFKM широко используются для герметизации оборудования для очистки сверхчистой воды, чтобы предотвратить попадание примесей и загрязняющих веществ.

Из-за высокой стоимости сырья FFKM резины условия работы, в которых обычно используются уплотнения FFKM, чрезвычайно суровые. В этих суровых условиях работы другие резины подвержены коррозии, набуханию, растворению, старению и затвердеванию и т. д., что приводит к отказу уплотнения и, следовательно, не может соответствовать требованиям к уплотнению. Благодаря своей превосходной коррозионной стойкости и высокой термостойкости резина FFKM может не только соответствовать требованиям к уплотнению в суровых условиях работы, но и увеличить срок службы уплотнений и сократить расходы клиентов на техническое обслуживание.